산화 갈륨 Furnace system 유동 및 입자 거동 해석

발주처 : 솔루더스

컨설팅 내용	해석 방법
- 산화 갈륨 증착을 위한 Furnace system의 유동 해석 - 유동 흐름에 의한 산화 갈륨 입자 가동 모사 - 증착 대상인 웨이퍼에 안착하는 입자 분포 검토 - 수평/수직 Furnace , 출구 개수 및 웨이퍼 위치 등에 대한 설계 변수 검토	-유동 해석 -정상 상태 해석 -입자 거동 해석

해석에 필요한 데이터	해석 결과물
- 해석 모델(Furnace system)에 대한 도면/모델링 자료 - 산화 갈륨 입자 조건 - 입구 유속 조건	- Furnace 내 유동 분포 - 증착 대상인 웨이퍼에 안착하는 입자 분포

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